株式会社栃木ニコン|Japan

精機事業

光を操る、超精密の最先端技術がある。
投影レンズ加工
史上最も精密なマシーンである半導体露光装置、高精度かつ巨大なマシーンである液晶露光装置において、光を操る心臓部が超高精度なレンズ部品と超精密なオプトメカから成り立っている投影レンズです。栃木ニコンプレシジョンは、半導体露光装置、及び液晶露光装置の投影レンズに求められる大口径かつ超高精度なレンズが供給できるニコングループで唯一の生産拠点として、i線、KrF、ArF全ての波長の半導体露光装置、スキャン系及び一括系全ての液晶露光装置の投影レンズの加工を担当しています。
投影レンズの加工は、超高精度な計測技術、超精密な加工技術、紫外光を操る最先端の薄膜技術から成り立っており、それぞれの技術もニコングループに受け継がれてきた伝統的な技能と最先端の技術を組み合わせることによって初めて実現できます。我々栃木ニコンプレシジョンは、半導体の微細化に合わせて新しい技術を取り込み、受け継いできた技能との融合を進めてきました。今後も更に新しい技術と伝統的な技能の融合を進め、世界bPの光学レンズ加工部門であり続けます。
投影レンズ研磨 投影レンズ研磨ライン 投影レンズ真空蒸着機
投影レンズ研磨 投影レンズ研磨ライン 投影レンズ真空蒸着機
投影レンズ組立調整
投影レンズ調整
投影レンズ調整
また、栃木ニコンプレシジョンはニコングループの精機事業の生産拠点として、半導体、液晶露光装置の光を操る心臓部である投影レンズの組立調整も担当しています。
半導体露光装置では全てのi線波長の投影レンズの組立調整を担当しており、上記投影レンズの光学レンズ部品を最先端のオプトメカ機構と組み合わせてi線投影レンズを作り上げています。
液晶露光装置ではニコングループ唯一の一括系投影レンズ及びスキャン系の結像系組立調整部門として光学系の心臓部を供給しています。
また、半導体露光装置の中にあって、ICチップの原型となるシリコンウエハや、IC回路の原版であるレチクルなどの位置決めや露光する際の焦点距離を調整するために欠かせない、アライメント用対物レンズの組立調整も担当しています。アライメント用対物レンズは「ミニ投影レンズ」とも呼ばれ、ミクロン単位の誤差も許されない可動ユニットの精度を向上させるために重要な役割を果たしています。また、アライメント用対物レンズは、超高精度レンズ加工に欠かせない計測機器にも搭載され、世界bPの光学レンズ加工の一翼を担っています。


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